产品用途该设备主要适用于4 -8 晶圆的单面高精度抛光加工，也可用于其它同规格硬脆材料的单面高精度抛光加工。二、主要特点1.主抛光盘采用高精度平面推力轴承支撑，特殊的进口蜗轮蜗杆减速器通过皮带而传动，传动平稳、运转精度高。2.主电机采用变频器调速拖动，调速平滑，运行平稳。3.主抛光盘采用集中冷却装置，通过自动检测抛光盘盘面的温度高低而调整冷却水的流量进行精密温度控制，保证了抛光过程中温度的恒定控制，控制精度高。4.上抛光头采用四个进口摆线针轮减速机通过非金属齿轮拖动而主动旋转，并通过四个变频器单独调速控制，无振动、冲击等现象。5.四个抛光头的压力采用气动控制方式，采用压力反馈控制模式，压力控制精确稳定，设定方便，压力可进行无级多段设定，工艺使用范围更广。6.抛光头采用变截面结构，有效消除了抛光头的压力施加分布不均匀的现象。7.供液系统具有抛光液加热、温度检测等功能，抛光液桶采用防腐蚀的非金属材料制作，有效防止了抛光液的污染。8.电气控制采用高档可编程序控制器PLC及人机界面PT控制模式,控制先进可靠，压力、速度、温度等均可实现自动设定运行控制，温度可实现即时检测和控制。9.压力、速度等的控制过程可设定多段（也可按用户要求进行设计）多组工艺参数，下盘及各上盘系统的速度在自动状态下可单独设定，在手动状态下通过面板电位器调定。三、主要技术参数1 主抛光盘尺寸： 1282mm2 承片盘直径 485mm3 主抛盘转速 0-63rpm4 抛光头数量 45 抛光头转速 0-63rpm6 抛光头升降气缸缸径/行程 200mm/250.5mm7 主抛盘驱动电机 22kW8 抛光头驱动电机 4 0.75kW9 电源 380V/220V 10% 50/60Hz 10%10 气源 0.5-0.6MPa11 耗气量 60L/min12 重量 约7500kg13外形尺寸(长 宽 高):3046mm 1806mm 2516mm四、加工能力单头：11片/ 4 8片/ 5 6片/ 6 3片/ 8 四头：44片/ 4 32片/ 5 24片/ 6 12片/ 8