产品用途： 本机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、玻璃及其它硬脆材料的双面抛光。本机从设备的结构、精度、功能、可靠性、工艺性等方面进行优化设计，性能优良，完全能满足用户的使用要求。主要特点：1. 本机采用龙门式结构，外型美观大方，提高了整机刚度。2. 整机的运行采用单电机拖动，通过减速机后由四组不同速比的齿轮给上抛光盘、下抛光盘、齿圈、中心轮提供不同的速度，使四种速度达到最佳的配比，满足工艺的要求，其中中心轮相对与其它三个转速的速比可调（两级），使游轮自转可实现正转、反转，满足了不同抛光（修盘）工艺的需求。3. 本机为下抛光盘升降方式、下抛光盘的高低位置可在总行程范围内随意停留自锁，以满足改变游轮啮合高低位置的需要。4. 本机继承其它抛光机压力控制的成功经验：采用四段压力，即轻压、中压、重压、修研（轻压）的运行过程。5. 本机采用PLC、四行文本显示器，变频调速，电机速度由外设电位器手动随时调节；速度由预设的四段速度因运行时间而自动改变，四段速度的运行时间与四段压力时间相对应。设备留有工件测厚装置接口。6. 接液盆、护圈的设计采用半露式结构，保证了设备工作时不会漏砂，并且便于用户对设备进行清理。7. 抛光速度的匹配，符合国际上通用的抛光机理，此速度匹配已被普遍认可。主要技术参数：1. 抛光盘尺寸： 1155mm 349mm 50mm2. 游轮参数： 英制：Z＝200 DP12 ＝20 公制： Z＝142 M＝3 ＝20 3. 游轮数量： 5片4. 最小抛光厚度： 0.50mm/ 125mm，0.40mm/ 100mm，0.35mm/ 75mm5. 最大抛光厚度： 30mm6. 最大抛光直径： 350mm7. 下抛光盘转速: 0～60rpm8. 主电机： 15kW 380V 1460rpm9. 三相电泵 1/4HP 380V10. 外形尺寸（长 宽 高）：2000mm 1550mm 2668mm11. 质量：约6000kg主机精度：1. 下研盘端面跳动：0.08mm2. 上、下抛光盘平面度：0.030mm（只检查下盘）3. 太阳轮径向跳动：0.12mm4. 齿圈径向跳动：0.20mm加工能力：1.单片承片量：17片/ 75mm 8片/ 100mm 5片/ 125mm2.整盘承片量：85片/ 75mm 40片/ 100mm 25片/ 125mm