产品用途：本机主要用于铌酸锂片、硅片、锗片、砷化镓、磷化镓、玻璃、陶瓷等片状材料的单面抛光。主要特点：1． 设备有三个抛光头，每个抛光头与粘片盘以三个锥销轴方式定位，开启主机对工件单面抛光时，粘片盘随主盘不断转动，达到单面抛光的目的。2． 设备三个抛光头均能单独完成上升、下降，拔出定位键可绕各自固定立柱回转，转离工作位置，便于取、放粘片盘。该机可进行单头抛光、双头抛光和三头抛光多种工作状态。3． 抛光头在其固定臂的径向位置可以随意调节，使抛光头中心与下抛光盘中心的距离各不相同，以保证下抛光盘修整轨迹更合理，提高了抛光布寿命及修平精度。4． 电器系统采用PLC控制，安装有远红外线测温仪，对下抛光盘进行温度监控，提高了整几可靠性、安全性。操纵面板上安装有主机、液泵开停按钮、主机调速按钮、抛光头升、降、缓降按钮，以方便操作。抛光时间设定了时间继电器和压力调节显示表等操纵件，其均位于显示面板上，完成相应操作功能。5． 三个抛光头分别用相同粘片盘单面抛光，可与61830-1型单面减薄机配套使用。6． 调速方式采用变频调速，调速平稳，低速性能好。主要技术参数：1. 抛光盘直径（外径）： 830mm2. 粘片盘直径（外径 厚度）： 350mm 20mm3. 抛光盘端面跳动量： 0.06mm4. 抛光盘平面度： 0.025mm5. 主电机： 7.5kW380V 1450rpm 6. 最小抛光厚度： 0.20mm7. 最大抛光件规格： 200mm8. 抛光件表面平面度： 0.001mm（ 75mm）9. 加工件厚度一致性： 0.004mm（ 75mm）10. 单头承片量： 8片/3 6片/4 4片/5 整盘承片量： 32片/3 24片/4 16片/5 11. 外形尺寸（长 宽 高）： 1900mm 1500mm 1600mm12. 质量： 约1600kg