产品用途 本机适用于直径100mm以下铌酸锂片、硅片、锗片、砷化镓片的单面抛光。也可用于其它片状材料的单面抛光。主要特点1.主传动变频调速,起、停平稳,全程无级平滑调速。2.主抛盘循环水冷却,使用远红外测温仪控制抛盘温度。3.设备有四个抛光头,每个抛光头均能单独升、降。每个抛光头内设有循环冷却水,保证盘面不受热变形,同时可修正加工件的翘曲度。4.抛光过程分三个阶段(三阶段时间控制自动转换)阶段1:通抛光液,抛光压力为抛光自重。阶段2:通抛光液,抛光压力为抛光自重加气缸压力.阶段3:通去离子水,抛光压力为抛光自重。5.配高压冲洗喷头。6.主要气动、电气配套件均为国外品牌产品。主要技术参数:1.抛光盘直径: 815mm2.粘片盘直径(外径 厚度): 305mm 20mm3.抛光盘端面跳动量: 0.06mm4.抛光盘平面度: 0.025mm5.主电机:7.5kw 380V 1450rpm6.最小抛光厚度:0.20mm7.抛光头升降行程:240mm8.最大抛光件规格:200mm9.抛光件表面平面度: 0.002mm( 75mm)10.加工件厚度一致性: 0.004mm( 75mm)11.单头承片量:5片/4 6片/3 整盘承片量:20片/4 24片/3 12. 设备外形尺寸(长 宽 高):1100mm 2000mm 1750mm13.设备质量:约1800kg