Z系列真空测量仪是智能双通道低真空测量仪 ZO-2是双通道热偶真空测量仪。真空测量范围100kPa-0.1Pa ZB-1薄膜规-热偶规复合真空测量仪在ZO-2热偶真空测量仪基础上增加了一路薄膜规管，用于测量100kPa-0.1Pa之间的真空度。本仪器可同时测量两路真空度，其中真空室1由热偶规管1和薄膜规管分段复合测量。 薄膜规在100kPa-100Pa间测量精度很高，但测量数百帕真空度时受温度影响很大。热偶规管在100kPa-100Pa间很差，但测量数百帕－1Pa真空度时测量精度j较好，受温度影响不大。ZB-1综合了上述两种真空规管的长处，可以在100kPa-0.1Pa间均有较好的测量精度。 仪器在较高的真空度条件下(P<10Pa),可以根据热偶规管测量的真空度动态校准薄膜规的零点。补偿它的温飘及零飘。由此，薄膜规可获得更好的使用性能。 由MCY-1介绍可知，压阻规粗真空性能很好，ZY-1压阻规－热偶规复合测量仪用压阻规代替薄膜规，其他性能同ZB-1.