上海唯科电气有限公司真空仪器产品简介上海唯科电气有限公司是从事真空技术、高电压技术科研开发、生产、经营的高科技公司。公司开发的全系列智能真空测量仪器，测量范围覆盖了从粗真空到超高真空的绝大多数应用场合。具有测量精度高、稳定性好、抗干扰能力强的特点。仪器具有多种测量控制输出，并能通过RS-232串行口或RS422/RS485串行口与上位微机通讯，交换数据。组成自动测量控制系统。仪器外观新颖、安装方便、重量轻、结构小巧、适用面广。可广泛应用于真空镀膜、真空冶炼、真空炉、冷冻干燥、变压器等电工产品真空工艺处理、溴化锂制冷机、半导体制造、真空炼镁机组、电光源制造等场合进行真空测量、真空控制。可取代麦氏计测量机械真空泵极限真空和抽速。本公司产品品种多、规格全，可承接各种真空设备以及此类设备电控装置的设计、加工、调试。公司坚持以科技为先导，不断创新，努力提高产品质量，竭诚为用户服务。公司主要产品系列如下一.ZFH系列复合真空测量仪ZFH系列复合真空测量仪是新型智能真空测量仪，能测量101KPa-7 10-6Pa之间的真空度。?采用单片微机进行数据处理，真空度读数数字显示，测量结果直观、明确、读数方便。?量程自动切换。当真空度下降，超出电离规管测量范围时，仪器可以自动停止电离部分工作，显示热偶部分测量数据。开机后或者复位仪器后，若热偶规管测得真空系统真空度高于6.67 10-1Pa，可自动启动电离部分工作。?电离规管的除气可以自动或手动进行，开机后真空系统真空度第一次高于1 10 2Pa时，仪器自动启动除气电路对规管除气，不论是自动除气，还是按键启动除气，除气时间可以自动定时为十分钟。不需人工干预。除气时可以进行真空测量。?采用带有反馈环节的D/A电路控制热偶加热电流的大小，热偶加热电流可以数字设定，简单、方便、直观、准确。当真空度高于10-2Pa时，可以自动标定热偶规管的加热电流，避免手工反复调整的麻烦。?采用带有断电保护的时钟电路。开机不必修改、校准实时时钟。走时精度高，可实现自动关机。?采用最新研制的面板嵌装式打印机，能打印真空度 时间曲线或真空度 时间数据。两种打印方式由用户选择，打印数据时，时间间隔由用户选择。若打印间隔设定为0，则打印时间 真空度曲线，此时，真空度采用对数座标。真空系统真空度随时间变化的趋势一目了然。?真空度单位自动转换。?具有多种测量显示模式，显示方式灵活多样。?带有四个继电器触点，动作真空度可以数字设定。其中一个与时间有关，若真空系统在设定的时间内不能达到设定的真空度，继电器翻转，并且蜂鸣器鸣叫，提醒用户注意。?仪器带有BCD码或者模拟电压输出，并且输出电压对应的真空度范围可以由用户设定。?仪器自动程度高，开机或者复位后，不需用户按动任何键即可自动进行测量，设定量保密性好，即使用户无规律地按键，也不会非法修改设定量或者影响仪器工作。?宽量程热偶采用定温和定流混合电路，综合了这两种电路的长处，真空度测量范围可达大气。?仪器抗干扰性能优越，工作可靠，故障率低。?仪器带有RS-232串行通讯接口，并且多台仪器可联成网，方便地与上位机通讯。由于采用单片微机作为仪器的控制单元。ZFH-1复合真空测量仪除了上述特点外，它的另一个显著特点是软件可修改性强，可以在基本不动或少动仪器硬件结构的情况下，修改仪器功能，创造出满足用户要求的仪器。主要技术条件：热偶部分:真空度测量范围：267 0.1Pa或101kPa 0.1Pa测量误差：267 1 10%(经校准，按校准曲线运行) 20%(按典型曲线运行)电离部分：1真空度测量范围：1 6.7 10-6Pa 20%2自动除气启动真空度：1 10-2Pa3自动除气时间：10分钟4控制触点数：45.外形尺寸：480(宽) 120(高) 300(深)19 上架机箱ZFH-2复合真空测量仪带有面板嵌装式打印机，ZFH-1复合真空测量仪不带打印机。本系列真空测量仪另可配用ZJ-10中真空规管，此时规管除气方式改为轰击除气。除气电流按预置曲线上升 保持 下降 停止。其它不变。配合压电阀，可提供自动压强控制仪。二.ZO 2系列真空测量仪ZO系列真空测量仪共有三种派生产品1.基本型：两路热偶规管，测量范围101KPa～0.1Pa2.热偶规-压阻规复合型：在基本型的基础上，增加了一路压阻规管，以提高101KPa～100Pa间的真空度测量精度。3.热偶规-薄膜规复合型：用薄膜规取代上述压阻规，测量精度更高。此系列仪器具有ZFH系列中热偶部分相关的特点，热偶规与压阻规或薄膜规自动切换。外形尺寸：196(w) 120(h) 280(l)mm3安装开孔尺寸:200(w) 120(h)mm2面板螺钉固定孔距：200(w) 136(h)四孔三.MCZ 1热偶真空测量仪MCZ 1热偶真空测量仪是单片微机控制的智能化真空测量仪器。仪器采用塑料嵌装外壳，具有外形美观、结构紧凑、安装维护简单，操作使用方便等特点，是理想的粗低真空测量仪器。为了扩展热偶规管的测量范围，该仪器采用定温/定流混合线路，既保留了定流线路测量精度高的优点，又发挥了定温线路测量范围宽的优点，可以测量101kPa 0.1Pa之间的真空度。仪器放弃了用电位器调节满度和零点的方案，改用数据记忆电路记录满度和零点电压，由单片机进行计算后确定真空度。因此设定规管加热电流、调节满度和零点均可通过按键进行。采用单片机控制的D/A电路控制热偶加热电流的大小，热偶加热电流可以数字设定，简单、方便、直观、准确。当真空度高于10 2Pa时，可以自动标定热偶规管的加热电流，避免手工反复调整的麻烦。用户可以将校准数据自行置入仪器，整个测量范围只要校准15-20个点，仪器可以保存校准数据，以后即可插值计算出整个测量范围的真空度。仪器带有二个继电器，同时可以输出4 20mA模拟电流信号。本仪器是取代麦克劳真空计的理想仪器。主要技术指标：1测量范围：105 100Pa100 1Pa 20%1 0.1Pa2配用规管：ZJ 54D热偶规管3外形尺寸：96(宽) 96(高) 140(深)mm3开孔尺寸92 92mm2四.MCY 1压阻真空测量仪MCY 1压阻真空测量仪是单片微机控制的智能仪器，采用压阻真空规管，用于测量101 0.01KPa之间的真空度。由于压阻规管输出电压是真空度的线性函数，因此在上述范围内，其测量精度和线性度很好，而且规管结构牢靠，使用寿命长，是比较理想的粗低真空测量仪器。特别值得一提的是这种规管还可以作为压力传感器使用，对于需要真空度、压力连续测量的场合极为适用。压阻真空规管是利用单晶硅的压阻效应制成的一种力敏器件。它以单晶硅为基体，按特定晶面，根据不同的受力形式分别加工成弹性应变元件，在弹性应变元件的适当位置，用集成电路工艺技术扩散四个等值电阻，组成惠斯登电桥。当不受压力作用时，电桥处于平衡状态；当受到压力作用时，一对桥臂电阻变大，另一对变小，电桥失去平衡。若对电桥加一恒定电流(电压)，便输出对应于所加压力的电压信号，从而达到测量气体压力的目的。由于这种传感器的感受、敏感和检测三部分同由一个元件实现，没有中间转换环节，所以不重复性和迟滞等误差极小。同时由于硅单晶本身刚度很大，形变很小，保证了良好的线性度，因此综合精度很高。本仪器提供了压阻真空规管工作所必须的恒流源，并接收规管送出的压力信号。所有的调零、调满度等均由软件完成，并且用软件对规管电流源的微小变化进行补偿，扩大了规管的测量范围。使用非常方便。主要技术指标：1.测量范围：101 0.01KPa101 0.1KPa 10%2.配用规管：CYG01压阻规管3.外形尺寸：96(宽) 96(高) 140(深)mm3开孔尺寸92 92mm2五.VTJ-1真空度-温度测量记录仪本仪器能测量一路真空度，三路温度。真空度测量范围101KPa-0.1Pa,配用铂电阻温度传感器时，温度测量范围-50℃～250℃。仪器有一面板嵌装式打印机，能够打印计录时间-真空度，温度数据，时间间隔可以数字设定。仪器带有RS-232通讯接口，可以将测量数据传送到上位计算机。外型尺寸：440(宽) 120(高) 300(深)六.ZJX-1机械泵真空性能测量仪本仪器能测量机械真空泵的极限真空(全压强或分压强)、抽速等性能。外型尺寸：440(宽) 120(高) 300(深)七.FH-1复合真空测量仪(表头显示)FH-1复合真空测量仪均配用ZJ 54D热偶规管作为低真空规管，配用ZJ 27或DL 2电离规管作为高真空规管，FH-1A采用单表头显示，FH-1采用双表头分别显示高低真空规管测得的真空度。它们具有下列特点：1.采用集成电路技术设计仪器各部分电路，仪器可靠性高，故障率低。电离规管过载自动保护，能保证长期稳定工作.2.仪器使用方便，放大器的零点、满度、发射电流等均自动稳定，不需人工调节。3.电离规管除气时可以测量真空度，除气时间自动定时10分钟，时间到自动停止除气，用户启动除气后可以不必专门照看。4.仪器外形美观，采用19 标准上架机箱，安装方便八.FH-3中真空复合计(表头显示)FH-3中真空复合计均配用ZJ 54D热偶规管作为低真空规管，配用ZJ 10中真空电离规管作为高真空规管，FH-3A采用单表头显示，FH-3采用双表头分别显示高低真空规管测得的真空度。除了除气方法与FH-1不同、没有除气定时、电离部分测量范围为10 10 4Pa外，其他性能特点与FH-1相同。九.FH-2复合超高真空测量仪(表头显示)FH-2超高真空复合计均配用ZJ 54D热偶规管作为低真空规管，配用ZJ 6B-A规作为超高真空规管，除了除气方法为轰击除气、没有除气定时、电离部分测量范围为10-1 10 8Pa外，其他性能特点与FH-1相同。FH系列真空测量仪的外型尺寸均为440(宽) 120(高) 240(深)