URE-2000系列光刻机 型号：35 一．技术特征 非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，自动型）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）采用专利技术 积木错位蝇眼透镜平滑衍射效应和实现均匀照明；1、采用三爪和球气浮同时找平，无论大片、小片调平精度均高； 2、具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能； 3、自动分离对准间隙和消除曝光间隙，间隙分离可达500 m； 4、高倍率双目双视场显微镜和19英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，并提供USB输出；既满足高精度对准，又可用于检测曝光结果，且曝光结果和方便存储； 5、电机机构、弹性元件和传感器保证接触曝光压力合适且重复性好； 7、曝光波长采用纯净365nm,冷光照明（曝光面能量15mW/cm ，温度小于30度） 8、对准完成，自动消除曝光间隙，无横向漂移且可通过监视器观察； 9、快门可以单独开启，也可以数字设定自动倒计时曝光（设定范围0.1s-9999s） 10、采用350W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度； 11、汞灯具有高亮度和 待机 两种方式，即曝光时采用高亮度照明，而不曝光时采用低亮度的 待机 ，从而延长了汞灯寿命。 12、设备外形美观精制，性能非常可靠；13、上下片、版十分方便，自动化程度很高，操作简便。 1、曝光面积：100mm 100mm（可升级6英寸） 2、分辨力：0.8-1 m（胶厚2mm的正胶） 3、对准精度：1 m4、掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸6、样片尺寸直径f15mm--f100mm(可适应非标准片或碎片) 7、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)8、照明均匀性： 3-4%（f100mm范围）9、掩模相对于样片运动行程： X: 5mm; Y: 5mm; q: 6度10、汞灯功率：350W（直流） 11、曝光波长：365nm12、曝光能量密度：15mW/cm (420nm以上波长小于0.1mW/cm )13、曝光方式：定时（到计时方式0.1s 999s）二．技术参数