产品说明SI-MF840四通道可编程流量控制仪，采用先进的高频PWM开关、微电脑控制技术、完善的控制技术及先进的电路设计技术研发设计，用于磁控溅射镀膜、多弧镀膜及各种CVD镀膜设备中，用于气体流量控制，使得气体流量按预先编制的曲线进行控制，完成繁杂的气体流量控制过程。具体功能如下：1) 气体流量按编制好的流量曲线进行控制，单工艺编程步数可达1000步，每步最大编程时间为60000S（16.6小时）；2) 本机内存10个工艺参数；3) 具有RS232或RS485计算机通讯接口，可远程监控。可用计算机软件编辑工艺，下载及上传。4) 控制精度高，输出精度可达0.1%，显示分辨率 1字；5) 多种多重智能保护及故障检测功能，运行可靠性高；6) 自动调零功能：控制仪可对流量控制器进行自动调零，方便操作；7) 控制接口双极性输出，可适应国内外各种型号的流量控制器；8) LED、LCD双显示，显示直观，操作界面友好。9) 体积小重量轻。最大外形尺寸483x89x100；10) 轻触按键+飞梭旋钮控制，操作简单、使用方便