WSP-6型半导体电阻率测试仪是专用于各种半导体材料包括:片状硅料、晶体、晶体等的电阻率测定的设备,测定范围:0.01-99.99欧姆厘米，是生产厂家硅料分选测试的理想工具。 1、 主要技术指标:电源：220V交流可测晶片直径（最大）Ф100mm,方形230 220mm恒流源：电流量程为0.01～1mA连续可调，误差≦ 0.5%。数字电压表：量程：0.1～200mV,最大分辨率：100 V电阻率显示：三位半数字显示：小数点、极性、过载、自动显示0.01-99.99欧姆。厘米输入抗阻：0.2mV和2mV量程：＞108 测量精度： 0.1。最大电阻测量误差（按JJG508-87进行）：0.1 、1 、10 、100 5%读数 2个字。重掺检测误差（JJG508-87进行）：1 1%、0.5 0.5%、0.1 0.1%测量环境：温度23 2℃，相对湿度 65%2、操作程序： 1、首先连好电源，打开后面板电源开关，电源指示灯亮，表示待机完毕。 2、校准设备：厚度小于3.98mm取与要备测试硅材料厚度相同的硅材料标准样块校准电阻率测试仪，测试厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一标准样块校准电阻率测试仪 3、测试：用四探针接触硅材料，以探针压下三分之二为准，待仪器显示数字稳定即可， 4校验：在测试过程中要求2小时用标准样块校准一次设备， 3、 针组件;维护及注意事项: 1、一般情况下,除了信号传输线的断裂引起的故障外, 针的维护主要包括针头的更换和针头的清理清洁工作 2、维护后的安装及维护过程中,必须注意安装过程中的排线位置,按绿红黄黑（1234）位置排列。