官网地址：http://www.xihesun.com/productDetails_djg.asp 供应硅片电阻/薄膜方阻测试仪是用来测量硅片、硅单晶、锗单晶电阻率及硅外延层、扩散层和离子注入层、导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜的方块电阻的测量仪器。它由电气测量部份（简称：主机）、测试架、四探针头及专业测量软件组成。功能特点 本套仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表（以万分之几的精度）适时监测全程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源，使测量电流高度稳定。主机配有恒流源开关，在测量某些薄层材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护箔膜。主机配置了 小游移四探针头 ，探针游移率在0.1～0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本套仪器使用专用软件进行数据采集,可实现自动换向测量、存储,求平均值，最大值、最小值、最大百分变化率、平均百分变化率等内容。技术参数测量范围■可测电阻率：0.0001～1.9*104 cm探针■使用几何尺寸十分精确的红宝石轴套，确保探针间距的恒定、准确。■控制宝石内孔与探针之间的缝隙不大于6 ｍ，保证探针的小游移率。■采用特制的S型悬臂式弹簧，使每根探针都具有独立、准确的压力。■量具精度的硬质合金探针，在宝石导孔内稳定运动，持久耐磨。恒流源■输出电流：DC0.001～100mA五档连续可调■量程：0.001～0.01mA0.01～0.10mA0.10～1.0mA1.0～10mA10～100mA■恒流精度：各档均低于 0.05%直流数字电压表■测量范围：0～199.99mV■灵敏度：10 V■基本误差： （0.004%读数+0.01%满度）■输入阻抗： 1000 M供电电源■AC220V 10%50/60Hz功率：12W使用环境■温度：23 2℃相对湿度： 65%■无较强的电场干扰，无强光直接照射重量、体积■主机重量：7.5kg■体积：365 380 160（单位：mm长度 宽度 高度）