采用海克斯康为FunctionuPlus专业打造的IDC-II控制系统，21项误差空间修正技术和自动调谐功能，保证了大型机器的动态性能和测量精度 测量机三轴都配置温度传感器，实时监控温度变化，自动补偿由于温度变化而引起的误差 软件为业界标杆的PC-DMISBASIC(/PC-DMISPREMIUM)，功能强大，易学高效采用L型移动桥式，由两到三个高精度等高块稳固支撑Y向槽型导轨，左立柱与横梁、滑架、鞍座共同组成移动桥，提高了运动质心，减少了阿贝误差 X轴和Z轴均采用超精加工及经过表面硬质阳极化处理的航空铝合金 Y轴采用一体化槽型精密花岗石导轨 Z轴采用专利的可调式气动平衡设计，采用柔性悬挂系统，避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题，提高了测量机的精度和长期稳定性 各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带，确保运动的平稳和准确定位 三轴均采用预载荷空气轴承，运动更平稳，导轨永不受磨损 三轴均采用高精度欧洲进口光栅尺，系统分辨率可达0.078um；同时采用一端固定，一端自由伸缩的方式安装，减少了光栅尺的变形，保证在温度变化时的线性伸缩 采用海克斯康为FunctionPlus专业打造的IDC-II控制系统，21项误差空间修正技术和自动调谐功能，保证了大型机器的动态性能和测量精度 测量机三轴都配置温度传感器，实时监控温度变化，自动补偿由于温度变化而引起的误差 软件为业界标杆的PC-DMISBASIC(/PC-DMISPREMIUM)，功能强大，易学高效