1．型號規格：ABLE8106CNC2．主要技術指標：2.1測量範圍：X=800mm，Y=1000mm，Z=600mm(實際量測行程：X:775 Y:975 Z:575(mm)2.2空間測量示值誤差：E≤3+L/320μm2.3量測系列：德國海德漢光學尺，0.078μm解析分辨率2.4MPEP：3μm2.5最大運動速度：300mm/s2.6最大承受重量：500kg2.7儀器重量：1090kg2.8外型尺寸：1935mm×1350mm×2729mm2.9環境要求：l 溫度範圍：20±2℃，0.5℃/hl 氣源壓力：150NL/min，進氣壓力:最少5barl 濕度範圍：45%-65%l 電源：110V±10%，50Hzl 溫度範圍：10℃~45℃l 地面振動：頻率範圍：0～6Hz， 6～50Hz， ＞50Hz 振 幅：7.6μm， 2.5μm， 7.6μm l 橫梁與Z軸採用表面陽極化航空鋁合金，溫度一致性極佳，並降低了運動部件的質量，減少測量