操作方式：搖捍驅動、編程驅動、直流伺服系統。精度：3+L/300μm 主機結構：三軸採花崗石機台重量：1500kg量測運度：運行運度500mm/L（主控100-500mm/s） 運行加速度：1600mm/s 失量運度：866mm/s 失量加速度：1730mm/s機台承重：800kg外型尺寸：1900×1500×2750mm（L、W、H）電腦規格以採確認後再設定。工作2件限高：650mm適合環境：溫度20-25℃ 濕度：50%-60%測頭部份：(1) 英國PH10T+TP20含?2、?3、?4 35mm延長桿