技术参数(1)类型：CCI干涉（相干相关干涉）(2)分辨率：0.1A(3)测量点数：1,048,576(1024x1024点阵)更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。主要特点＆#8226;专利的相干相关算法＆#8226;0.01nm分辨率＆#8226;10-20秒测量时间Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI（专利技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。＆#8226;RMS重复性：0.03A