质量流量传感器MCS100MCS100质量流量传感器使用山武公司独创的微流量传感器。它可以安装在非常靠近管口的地方。其测量响应速度高达5ms。由于采用了质量流量的测量原理，其测量不受气体压力影响。规格书型号:MCS100A100/ MCS100A104/MCS100A108/ MCS100A112适用气体:空气,氮气气体必须干燥且不含腐蚀性成分（例：氯、硫、酸等）气体必须是清洁气体，不含粉尘和油。流量范围:-3～+3L/min/0～3L/min/-0.5～+0.5L/min/0～0.5L/min以上数值为20℃，1atm条件下数值。操作温度:0～50℃(环境温度与介质温度均为此数值）操作湿度:10～80%RH(无结露)操作压力范围:-100～+200KPa(确保压力特性的范围:-70～+200KPa)输出电压精度: 5%FS响应速度5ms（一个采样周期内，流量变化量最大为95%FS）额定电压12～24VDC,12VDC趋动时，纹波电压小于5%，24VDC趋动时，纹波电压小于10%消耗电流:12mA以下管路连接:M5内螺纹安装位置:任意重量9g选型表说明序号MCS100A100:-3～+3L/min流量传感器MCS100A104:0～3L/min流量传感器MCS100A108:-0.5～+0.5L/min流量传感器MCS100A112:0～0.5L/min流量传感器可选附件（另售）序号说明81446888-001带插头连接电缆