设计特点 热式原理 一体化设计 满量程从5SCCM到1000SLPM 响应时间不超过2秒钟 操作压力可达20MPa 对安装位置不敏感 316SS材质，允许测量腐蚀性气体 无直管段要求 单电源供电技术参数流量范围：从0-5SCCM到0-1000SLPMN2，具体请参考表一响应时间：1～2秒精度： 1%满量程（除114型）； 1.5%满量程（114型）再现性： 0.2%满量程量程比：50:1（2%-100%满量程）环境和操作温度：-10～70℃最大操作压力：3000PSIG（20MPa），具体请参考表一零点漂移： 0.05%满量程/℃范围漂移： 0.05%读数/℃压力漂移：0.1%/atm（相对于N2）安装方向：对位置不敏感预热时间：10分钟电气连接：卡式（20针）或D型（9针）流量信号输出：0-5VDC（最小负载电阻2K ）；0-10VDC（最小负载电阻3K ）；1-5VDC（最小负载电阻2K ）；4-20mA（请参考下面的说明）；对于流量信号输出为4-20mA的负载电阻：环路电压为6.5-15VDC时：0-450 环路电压为15-30VDC时：200-750 供应电源：电压输出：＋12( 5％)（仅适用于0-5VDC和1-5VDC流量信号输出）或+15( 10％)VDC电流输出：＋15( 5％)或+24( 15％)VDC电流消耗：＜45mAdc重量：请参考表一结构材质主体：316SS传感器组件：316LSS密封材质（ O 型环）：BunaN，EPDM，Kalrez?，Neoprene，Viton?过程连接：316SS