001，002和003A型质量流量控制阀门都是常闭的比例控制阀门，可应用在从0-5sccm到0-500slpm氮气量程中。当它与质量流量计结合使用时，就可构成一个闭合回路控制系统,该系统允许单独组件配置（流量计和控制阀门）。001型，002型，003A型质量流量控制阀门技术参数流量范围*：从0-5SCCM到0-500SLPM环境和操作温度：-10～70℃（14～158℉）最大操作压力：1000PSIG（6.9MPa），具体请参考表一安装方向：对位置不敏感额定工作电压：4-11VDC（最大24VDC）额定工作电流：150mADC（最大275mADC）阀线圈电阻：80 4 （001型和003A型）；63 3 （002型）重量：请参考表一结构材质主体：316不锈钢孔：316不锈钢阀组件（接液）：001型：302SS，316SS，430FSS，Sandvik?1802002型：302SS，316SS，Sandvik1802003A型：302SS，316SS，430FSS，Sandvik1802密封材质（ O 型环和阀座）：001型：BunaN，EPDM，Kalrez，Neoprene，Viton002型：BunaN，EPDM，Kalrez，Neoprene，Viton003A型：BunaN，Viton*注：上述流量范围反映的是氮气标定下产生的最小流量和最大流量，可采用其它介质的流量范围，当操作参数有疑问时为了保证选型，请咨询厂家。