氩气是大规模工业生产单晶硅的保护气，它的要求之高，是控制经营成本必须重视的一个重要方面。 将排出含有杂质的氩气，除去固体杂质，经缓冲罐进入氩气压缩机升压,，经氩气纯化设备。采用非蒸散型锆铝16吸气剂为净化剂，在一定温度下，吸气剂可于氩气中的O2、N2、H2、CO、CO2、CH4等等形成稳定的化合物或固溶体，从而达到对氩气精制的目的。最后将净化后的氩气送入使用地点.