V10FC-R直接热式MFC/MFM采用热消散原理技术,两传感器分别置于流量计主通道两端,一传感器为温度传感器,一传感器为质量流速传感器,气体流经仪表时流经通道,通过两传感器将检测到的流量信号转化成电信号,经放大后转换成0-5V或1-5V的电压信号或4-20mA的电流信号。产品主要用于真空,镀膜,石油化工,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析,科研院所实验设备。产品特点● 直接热式原理,无层流元件● 无压损,抗结晶,抗腐蚀 ● 适用于各种低压和高压管道● 精确测量和控制气体的质量流量● 预热时间短,零漂小,可靠性高● 多种气体可选,也可自行输入 技术参数 技术指标 V10FC-RC质量流量控制器 V10FC-RM质量流量控制器 量程范围 小量程:5SCCM~10SLM 中量程:10SLM~30SLM 大量程:30SLM~2000SLM 控制范围 控制器20:1 流量计20:1 准 确 度 流量: 3% 压力:0.5% 温度: 1℃ 线 性 0.5% 重复精度 0.2% 响应时间 100ms 10ms 数 字 量 RS232/485,MODBUS协议 模 拟 量 0~5V、4~20mA、1~5V 供电 12V/24V/ 15V可选 工作温度 0~50℃ 工作压力 工作压差:0.03~0.5MPa 工作压降: 0.01Mpa 最大耐压 低压1MPa,中压3MPa,高压10MPa 电气连接 DB15孔 漏 率 1 10-9SCCSHe 温度系数 0.015%/℃ 底座材质 316L 密封材料 氟橡胶,氯丁橡胶,丁晴橡胶 接 头 VCR1/4;swagelok 6