V10FD-M/H中高压型MFC/MFM ●通用型,适用于3MPa以下各种气体 ●响应速度100ms,无需预热,上电即可操作 V10FD中高压型流量计 ●无热漂移,长期稳定性0.1%F.S/年●数模兼容,可使用二次表或计算机控制和显示流量●内置阀控指示灯/通讯指示灯/流量指示灯●内置4种气体,无比热容附加误差,不影响精度 V10FD-M/H采用全不锈钢传感器，适合于测量各种与316不锈钢兼容的气体。该产品为模拟和数字兼容型设计：可通 过模拟型二次表或PLC进行设定和显示瞬时流量；也可通过 数字接口直接与计算机进行通讯。具有通用于模拟型控制系 统和数字型控制系统的特点。 V10FD-M/H采用无热漂移,无响应滞后的差压质量流量测 量原理。多气体多量程的设计便于用户现场配置流量计：通过拨码开关可以现场选择四种测量气体，每种气体有3种校 准量程，六个LED指示灯可以较直观的显示V10FD-M/H的 各种工作状态。如果需要对气体流量进行控制时,还可以加装 电磁比例调节阀和内置PID调节功能。 与传统热式气体质量流量控制器/计不同,当使用气体转换系 V10FD中高压型控制器数时,V10FD-M/H没有附加的比热容误差,所以,即使测量气体与出厂时的标定气体不同,也不会影响测量精度。 产品应用 真空半导体航空航天工业制造石油化工冶金煤炭环境分析食品药品生物科技 技术参数 技术指标: V10FD-M/HC质量流量控制器 V10FD-M/HM质量流量计量程范围: 小量程:5SCCM～10SLM中量程:10SLM～30SLM大量程:30SLM～250SLM测控范围: 控制器阀控范围50:1流量计量程比100:1准确度: 流量： 1.5%读数 0.2%满量程 可选 0.8%读数 0.2%满量程 压力：0.5%F.S温度： 1℃线 性: 0.5%F.S重复精度: 0.2%F.S响应时间: 100ms10ms数字量: RS232/485，MODBUS协议模拟量: 0～5V、4～20mA、1～5V供 电: 24V/ 15V可选工作温度: 0～50℃工作压力: 工作压差：0.03～0.5MPa工作压降： 0.01Mpa最大耐压: 中压3MPa，高压10MPa电气连接: DB15孔漏 率: 1 10-9SCCSHe温度系数: 0.015%F.S/℃底座材质: 316L不锈钢密封材料: 氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶接 头: VCR1/4;swagelok 6