OX400可用于控制和监视各种半导体应用，并控制环境，空气泄漏入惰性气体及其他过程。用于半导体扩散炉和烘干炉，以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制，用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度，以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量，测量氧气浓度，防止粉尘运输中粉尘爆炸。 主要技术参数：测量对象惰性气体中的氧气浓度(易燃性气体、腐蚀性气体或液体(包括水蒸气)除外)测量系统氧化锆系统采样方法泵式、抽提式等样气条件流速：200 25ml/min(仅适用于传感器)温度：0～50℃(无结露)湿度：无结露压力：0～300PaG最大容许压力：30kPaG测量量程0～10ppm O2至0～100vol% O2输出量程自动：0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，0～100%(默认)固定：设为0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，或0～100%部分：可设置下限值或上限值模拟输出2路输出，第一路：4～20mA DC(最大负载电阻550 )，第二路：可选为0～1，0～5，0～10V DC(负载电阻：10k 或更大)接点输出报警输出2点：错误接点，O2浓度报警接点指定量程范围输出1点：接点输出多选择器(选配件)：流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出接点输入1点：采样气体吸入泵的远程ON/OFF自诊断故障：传感器错误，加热器温度错误，温度传感器断开，设备温度错误，CPU错误，FAN停止报警：加热器不稳定，传感器错误，电动势异常，非对称电压错误错误，标定错误，传感器电阻错误，O2浓度上/下限，超限串口通信RS-232，38400 bps标定方法(1)3点：10ppm，1000ppm，空气，(2)2点：可设定为零点气和量程气标定，(3)1点，(4)空气标定暖机时间20分以内电源100～120V AC/220～240V AC，50/60Hz功耗100～120V AC，200VA 最大，220～240V AC，400 VA 最大尺寸213 (W) x 132 (H) x 约375 (D) mm质量约5kg管线连接气体入口：Rc1/4或1/4NPT内螺纹气体出口：Rc1/4或1/4NPT内螺纹环境条件安装条件：室内，盘装或壁装，非易燃区域环境温度：0～40℃，无结露环境湿度：5～85%RH储存温度：-5～50℃重复性 1%F.S.(10，100，1000 ppm，1%，10%或100%)线性 2%F.S. 3%F.S.(0～100ppm或更低)响应时间90%响应10秒内(0～1%或更高)30秒内(小于0～1%)漂移 2%F.S./周