残余气体分析仪（四极质谱仪） ToolCheck在真空诊断中是创新的概念，它桥接了真空计与RGAs之间的空隙。这台简易的高功能仪器用于监测真空系统，精确地辨别最常规的残余气体，便于及时检测真空问题与快速消除故障。这台全内置的仪器可容易地连接任何真空室，内置程序和TCP/IP接口，用于控制ToolCheck和运行于系统控制器的标准网页浏览器查阅结果，无需外接计算机。简单的指令组易于写入用户特定的码，将ToolCheck集成于您的系统控制器。 Transpector2的特点 I100－，200－，和300－amu系统带法拉第杯或电子倍增器/法拉第杯的组合。 改进的氢检测。 与原始的Transpector相比讯噪比提高10倍 快速扫描低值讯号 个量级的电子学动态量程 用于单传感器和多传感器系统的软件选件 分压测量从1 10-4乇至2 10-14乇 Transpector2是基于四极场的智能传感器，全部传感器电子驱动加上微处理器安装在一个附在传感器上的小型、轻便的密闭匣内。由于它是智能的传感器，具有相当的灵活性，您可以使用当前的计算机或从INFICON选购PC和软件包。两种通讯链接，RS232用于单传感器，RS485用于多传感器配置，将Transpector2连接控制计算机。简单的指令协议支配全部Transpector功能。 TranspwctorXPR3气体分析系统 用TranspwctorXPR3进行工艺监测可为您提供有关污染程度、出气量值、气体纯度和设备运行的实时数据。 这个信息有助于产量与产额的最大化，由于问题的及时监测与诊断而降低损耗，由于更有效地采取预防性维护程序，可提高设备的运行时间。TRANSPECTORXPR3的特点 新设计的离子源使污染的产生最小化，从而延长使用寿命和提供更清楚的讯号。 新型EM在PVD工艺压强下工作，提供更快速、清晰的数据收集和免除FC至EM的转换，简化数据的解译过程。 新型加长的四极杆场可提高低质量范围的过滤能力，提高质谱仪分辨同位素的灵敏度，从而改善氢的监测灵敏度。 TranspwctorXPR3是新一代的高压强四极场工艺气体分析仪。它研发于先前INFICON系统成功的基础上，在物理相汽沉积（PVD）检测中具有无比高的灵敏度、精确度和灵活性。一系列技术上的突破使轻便型TranspwctorXPR3的工作范围从20耗乇至超高真空，无需大型负责的压强转换设备。TRANSPECTORXPR3的应用 PVD工艺模块 预清洗模块 Non-cluterPVD设备 Clamped的除气模块