日本新宇宙COSMOSXD-303(自动吸引式)半导体特气检测仪简介: --采用定电位电解式传感器,对被测气体具有选择性--高检测灵敏度、能检测很多种类的半导体特气--液晶数字显示 日本新宇宙COSMOSXD-303(自动吸引式)半导体特气检测仪技术参数: 型号XD-303AHXD-303PHXD-303BHXD-303检测对象气体砷烷(ASH3)磷烷(PH3)乙硼烷(B2H6)其它检测范围0~1ppm0~0.2ppm0~1ppm0~0.3ppm0~1ppm因规格而异最小刻度0.1ppm0.01ppm0.1ppm0.01ppm0.1ppm 采样方式自动吸引式应答速度60%应答40秒