简介MEMSIC器件是基于单片CMOS集成电路制造工艺而生产出来的一个完整的双轴加速度测量系统就像其它加速度传感器有重力块一样MEMSIC器件是以可移动的热对流小气团作为重力块器件通过测量由加速度引起的内部温度的变化来测量加速度MEMSIC传感器中的质量块是气体气态的质量块同传统的实体质量块相比具有很大的优势MEMSIC的器件不存在电容式传感器所存在的粘连颗粒等问题同时能抵抗50000g的冲击这使得MEMSIC器件的次品率和故障率很低通过测量温度变化来确定加速度的装置原理将在下面介绍一个被放置在硅芯片中央的热源在一个空腔中产生一个悬浮的热气团同时由铝和多晶硅组成的热电耦组被等距离对称地放置在热源的四个方向在未受到加速度或水平放置时温度的下降陡度是以热源为中心完全对称的此时所有四个热电耦组因感应温度而产生的电压是相同的(见图1)由于自由对流热场的传递性任何方向的加速度都会扰乱热场的轮廓从而导致其不对称此时四个热电耦组的输出电压会出现差异而这热电耦组输出电压的差异是直接与所感应的加速度成比例的在加速度传感器内部有两条完全相同的加速度信号传输路径一条是用于测量X轴上所感应的加速度另一条则用于测量Y轴上所感应的加速度