简介：FS3000系列小流量气体质量流量传感器是专门为各类小流量的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统流量传感器芯片制作，适用于各类清洁气体。独特的封装技术使之可以用于各类管径，成本低，易安装，不需要温度压力补偿，可替代容积或压差式的传统流量传感器产品特点:响应时间快传感器芯片采用热质量计量无需要温度补偿，保证了传感器的高进度计量线性模拟电压输出零点稳定度高全量程高稳定性全量程高精度和优良的重复性FS3003通径3mm最大流量0～30SLPM量程比50:1精度 (205+0.8FS)%重复性 2%零点输出飘移 30mV输出飘移0.2%/oC响应时间50ms工作电源8~18Vdc,50mA输出方式线性，模拟电压0.5~4.5Vdc最大流量压损2.4Kpa最大工作压力0.2MPa工作温度-10~+55oC存储温度-20~+65oC工作湿度 95%RH（无结冰、无凝露）机械接口可拆式软管接头NPT1/4校准方式氮气（或其他气体），20oC，101.325kPa重量15FS3008通径8mm最大流量0～200SLPM量程比50:1精度 (205+0.8FS)%重复性 2%零点输出飘移 30mV输出飘移0.2%/oC响应时间50ms工作电源8~18Vdc,50mA输出方式线性，模拟电压0.5~4.5Vdc最大流量压损2.9Kpa最大工作压力0.2MPa工作温度-10~+55oC存储温度-20~+65oC工作湿度 95%RH（无结冰、无凝露）机械接口可拆式软管接头NPT1/4校准方式氮气（或其他气体），20oC，101.325kPa重量23