本产品既能测量频率从0--7.5KHz的机械振动位移，又可测量小至0.001微米的机械位移和零件尺寸。测量是非接触的，故特别适合一般仪器不能胜任的旋转轴式或不受力的小型。线型。薄壁或怕划伤的精密零部件的静态，动态和在线测量。曾获得国际尤里卡发明奖。国家发明奖。国家科技进步奖。主要技术指标；1.量程；6微米、60微米、600微米2.分辨率；0.001微米、0.01微米、0.1微米3.测量频率范围；0--7.5KHz4.非线性；＜ 0.5％5.温漂；0.5％／h（开机预热20分钟）6.工作温度；-10--80度7.输出信号；+5.1V　20MA 仪器应用举例；1.旋转轴的径向跳动，轴向窜动和回转精度2.往复机构的运动特性和重复定位精度3.正弦波激振和抹脉冲激振中振动测量4.机械零部件的相对振动和变形5.盘类零部件的端面振摆动6.轴承间隙和油膜厚度7.线切割机床的电极丝的振动8.机床主轴热位移与动态加载试验测量9.检测零部件尺寸和平直度仪器传感器能自动微调测量初始间隙，安装方便，操作简单，适宜测量多种材料，适应高压。高磁场等恶劣环境。