分子式：SF6 分子量：146.05 项 目 国 标 GB/T18867-2002 企业标准 六氟化硫(SF6)的体积分数/10-2 ≥ 99.99 99.999 空气的体积分数/10-6 ≤ 50.0 40.0 四氟化碳(CF4)的体积分数/10-6 ≤ 15.0 12.0 湿度(H2O)的体积分数/10-6 ≤ 8.0 6.0 酸度（以HF计）的体积分数/10-6≤ 1.0 0.7 可水解氟化物（以HF计）的体积分数/10-6≤ 1.0 0.7 其他杂质(CO2、C2F6、C3F8、SO2F2、S2OF2、S2OF10)的体积分数/10-6≤ 15.0 12.0 杂质综合的体积分数/10-6≤ 100 80 颗粒 由供需双方商定 由供需双方商定 性状： 常温常压下为气态，它是一种无色、无臭、无毒、无腐蚀性的气体。熔点－50.8℃，升华点或沸点为－63.8℃，气体密度6.16g/l（20℃，0.1MPa），在熔点时密度为2.51g/cm3，具有高的绝缘性和灭弧能力。 用途： 电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。 贮存： 应存放于阴凉干燥、通风良好的地方。 运输： 长途运输时应附有GB19－73《危险货物包装标志》中指定标志。气瓶充装系数不大于1.33kg/L。 包装： 应充装在洁净、干燥的无缝高压气瓶中，气瓶容积一般为40L、12.5L、10L、8L、4L等，也可根据用户需要选用各种容积的气瓶或其它容器。（一般情况，使用气瓶公称压力为15MPa时，充装系数＜1.37㎏/L)。