一、原理结构图1是用于敏感旋转载体横滚（或俯仰）角速率的硅微机械陀螺结构图，1为单晶硅质量，2为单晶硅弹性扭转支撑梁，3为玻璃电极极板，4为玻璃电极极板上蒸镀的金属电极。玻璃极板和质量之间的间隙为20 m，玻璃板的四个电极和质量之间形成四个电容器。坐标系OXYZ固定于陀螺的质量上，?为质量沿OY轴的摆动角速度， 为载体的旋转角速度， 为载体的横滚（或俯仰）角速度（即被测角速度）。陀螺固定于旋转载体上，当旋转载体以 角速度旋转的同时又有横滚（或俯仰）角速度 输入时，单晶硅质量就受到周期性变化的哥氏力（哥氏力变化频率为载体旋转频率）作用，使质量产生沿OY轴摆动，从而引起由单晶硅质量和玻璃电极构成的四个电容器C1、C2、C3、C4的变化，把电容变化信号转换成电压变化信号之后经放大，便得到和被测角速率 成比例的电压信号。二、技术指标滚动角速度1～25r/s零位偏置 0.5 /s俯仰和偏航角速度300 /s零位漂移 0.03 /s/h分辨率 0.1 /s供电电源 15VDC, 18mA比例系数30mV/ /s工作温度-40℃～+55℃非线性度 1%FS储存温度-55℃～+70℃输出方式正弦波调幅信号冲击正谐振动半周期150g,6ms振动任意方向随意振动:10g(f=20～2000Hz)加速度任意方向的线加速度:40g;沿自旋轴的线加速度:75g;重量8克(敏感元件)15克(包括电路)外形尺寸20*20*5mm3（敏感元件）35*35*10mm3（包括电路）三、用途本陀螺用于敏感旋转体的横滚（或俯仰）角速率，例如，飞行体的横滚或俯仰角速率，钻井钻头垂直度和稳定度的控制等，它具有廉价、体积小、重量轻、功耗低、产品一致性好，性能稳定等特点。CRS-A01微机械陀螺量程 200 /s(可选)比例系数（15mV 5mV）/ /sec比例系数温度特性＜0.05％/℃零位电压范围0 100mV零位变化（全温度）7 /sec加速度影响＜0.05/sec/g起动时间＜3sec（Typical）频响＞50Hz线性度＜0.05％供电电压 15V供电电流 20mA工作环境：工作温度-40℃～+80℃储存温度-55℃～+100℃振动6g，20～2000Hz，三分钟冲击500g，半正弦重量100gCRS-T01型微机械陀螺惯性组合1.三轴角速度陀螺1.1测量范围 150 /s1.2线性度(F.S)0.1%1.3交叉耦合0.1%1.4分辨率0～ 5 /s 0.002 /s 5 /s～ 150 /s 0.02 /s1.5零位漂移 0.01 /s/h(1 )1.6零位逐次启动重复性 0.01 /s(1 )1.7带宽 50HZ2.三轴线加速度计2.1测量范围 30g2.2线性度(F.S)5 10―42.3交叉耦合5 10―42.4零位综合误差 3 10―4g2.5带宽 100HZ3.环境适应性3.1工作温度－40℃～＋60℃3.2储存温度－55℃～70℃3.3振动20～2000HZ6g，1分钟，轴向。3.4冲击100g，持续时间：5～8ms，三方向。4.工作电源28 3V电流： 0.5A加热电源28 3V电流： 3A5.外形尺寸 120mm 150mm6.重量3.5kg