内容提要超精密定位工作台技术是集机械学、电子学、光学、计算机控制技术与一体的综合性技术，为IC制造技术、精密加工技术、机密测量技术等提供精密定位装置。本书系统阐述了超精密气浮定位工作台中的气浮支承技术、系统动力学、超精密定位运动及其控制等基本理论与方法。本书的主要内容包括：超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论和技术；超精密气浮支承的建模、有限元分析方法及其数值计算的理论与方法；超精密气浮定位工作台的动力学建模以及动态特性分析；超精密定位工作台的定位运动分析及其控制方法研究。本书可作为数字制造设备、精密加工设备、精密测量仪器、生物医药装备等行业科研技术人员的参考书，也可作为高等院校相关专业的研究生教材。