主要用于半导体、太阳能电池生产线中的PECVD设备、等离子体镀膜设备、离子刻蚀设备、薄膜材料改性设备等。◆ 13.56MHz射频电源技术特点： 射频源采用石英晶体振荡电路产生13.56MHz的射频信号，频率稳定性高 具有手动调节和自动调节两种模式 输出功率稳定可靠 具有软启动和功率保护功能 主要技术参数： 输出频率：13.56MHz 输出功率：100W～1000W连续可调 输出功率稳定度：优于0.5％ 匹配范围：(2.7～45) －j(0～70)