R-14制冷剂，别名R14、氟利昂14、PFC-14，商品名称有Freon14等，中文名称四氟化碳、四氟甲烷，英文名称CarbonTetrafluorideorTetrafluoromethane，分子式CF4。R-14属于FC类物质 对臭氧层没有破坏、但存在温室效应；目前对于R14制冷剂的生产、销售以及在新制冷设备上的初装、售后设备上的再添加均没有限制。 R-14主要用途 R-14作为一款特种超低温制冷剂，主要应用于要求温度非常低的深冷设备中（包括科研制冷、医用制冷等），R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳（四氟甲烷）是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。 R-14物化性质 冷媒名称 R-14 分子量 88.0 沸点（1atm），℃ -128 临界温度，℃ -45.67 临界压力，kPa 3740 饱和蒸气压（25℃），kPa 3650（-45.6℃） 汽化热/蒸发潜热（沸点下，1atm），kJ/kg - 破坏臭氧潜能值（ODP） 0 全球变暖潜能值(GWP，100yr) 5700 ASHRAE安全级别 A1（无毒不可燃） R-14冷媒包装 可重复使用高压钢瓶包装（需回收包装钢瓶）：7kg/瓶，32kg/瓶。