Zeta光学显微镜三维成像及测量系统 样本本色三维成像 台阶高度，线、面粗糙度，角度和尺寸测量 高粗糙度、低反射率样品的测量 深槽和其它高纵横比面形貌特征的成像 薄膜厚度测量和DIC功能选项 多功能、操作简便的应用软件由位于美国硅谷的Zeta仪器公司研制，Zeta20是一个集多种测量手段于一身的精密光学仪器。它体积小，功能强，使用方便，是解决用户三维成像和测量问题的有效工具。与市场上售价昂贵的同类产品相比，ZETA20独特的三维成像技术能够更准确，更快速地对LED/PSS、太阳能电池、微流体导管等样品表面进行成像分析。非接触式测量加上零维护成本使得Zeta20成为三维测量系统中性能价格比最优的解决方案。 应用实例1.LED/PSS（图形化蓝宝石基板） 高度、尺寸和间距的自动测量；蚀刻前后的基板表面测量2.太阳能电池 AR薄膜厚度监控；HDR成像使得同时测量高反射率的栅线与极低反射率的氮化硅成为可能3.生物科技/微流体 大视场三维成像；高纵横比深槽和其它复杂表面形貌特征的精确测量4.精密研磨 钻石抛光垫等极粗糙表面的成像和测量典型系统配置显微镜系统光源：高亮度白光LED物镜：5x，10x，20x，50x，100x耦合镜：0.5x手动载物台：100mmx100mmXY驱动范围Z轴：30mm纵向驱动范围数码相机：1024x768像素，1/3英寸CCD计算机控制系统CPU：英特尔 酷睿2双核处理器内存：3GB硬盘：320GB显示器：22英寸宽屏LCD（1680x1050像素）