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在静态测量中,应按照信号的特点(稳态、瞬态、随机等)呼应特性,以防发生过火的误差。灵敏度的选择通常,在传感器的线性领域内,希望传感器的灵敏度越高越好。由于唯有灵敏度高时,与被测质变化相应的输入信号的值才比拟大,有利于信号处置。但要留意的是,传感器的灵敏度高,与被测量有关的外界噪声也轻易混入,也会被缩小零碎缩小,影响测量精度。因而,请求传感器自身应具有较高的信噪比,尽员增加从外界引入的厂扰信号。传感器的灵敏度是无方向性的。当被测量是单向量,并且对其方向性请求较高,则应选择其它方向灵敏度小的传感器;假如被测量是多维向量,则请求传感器的穿插灵敏度越小越好。线性范围:传感器的线形范围是指输出与输入成正比的范围。以理论上讲,在此范围内,灵敏度保持定值。传感器的线性范围越宽,则其量程越大,并且能保证一定的测量精度。在选择传感器时,当传感器的种类确定以后首先要看其量程是否满足要求。?
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WRVi255/1.10豪顿双螺杆压缩机进水大修normal style="MARGIN: 0pt; LINE-HEIGHT: 12pt; TEXT-AUTOSPACE: ideograph-numeric; mso-pagination: none">压阻式压力传感器结构压阻式压力传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器,它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力,而是直接通过硅膜片感受被测压力的。硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔,另一面是与大气连通的低压腔。硅膜片一般设计成周边固支的圆形,直径与厚度比约为20~60。在圆形硅膜片(N型)定域扩散4条P杂质电阻条,并接成全桥,其中两条位于压应力区,另两条处于拉应力区,相对于膜片中心对称。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上扩散制作电阻条?,两条受拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻条构成全桥。??
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normal style="MARGIN: 0pt; LINE-HEIGHT: 12pt; TEXT-AUTOSPACE: ideograph-numeric; mso-pagination: none">缺点是:温度特性差,由于压阻式压力传感器是用半导体材料制作的,受温度影响较大,因此,在温度变化大的环境中使用时,必须进行温度补偿。工艺复杂,对研制条件要求高而严格,尤其是扩散杂质、烧结、封装工艺等比其他传感器要复杂的多,因而成本也相对要高。应用压阻式传感器广泛地应用于航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。在航天和航空工业中压力是一个关键参数,对静态和动态压力,局部压力和整个压力场的测量都要求很高的精度。压阻式传感器是用于这方面的较理想的传感器。例如,用于测量直升飞机机翼的气流压力分布,测试发动机进气口的动态畸变、叶栅的脉动压力和机翼的抖动等。在飞机喷气发动机中心压力的测量中,使用专门设计的硅压力传感器,其工作温度达500℃以上。
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