SEA5100采用Si(Li)半导体检测器，使之测量分辨率大大提高，弥补了用比例计数管检测时有些元素难以区分的不足，配备有小型准直器,不仅可以进行元素分析，也可测量镀层厚度,与薄膜FP法配合使用时,可以不使用标准样品，就可以进行元素分析及镀层测量。标准配备有Windows2000中文操作界面，采用检量线法和FP法，测量数据与Word和Excel链接，自动生成报告和数据处理，2个准直器可自动切换，工作台3维电动，可编程进行自动测量利用微小的X射线束流来进行微小的异物分析虽然从微小的异物得到的信号量不随照射异物的X射线束流大小而改变，但是从底材得到信号随着束流的减小而减小，相对来说，从异物得到的信号跟底材的比增强。于是，微小的X射线束流在进行微小的异物和样品时，发挥着重要的作用。方便简单的多点分析和成像利用多彩的扫描方法，自动的测量样品的表面，简单明了的表示出2维或者3维的元素分布，膜厚组成分布等的成像。鲜明的样品画像和定性分析(对比表示)通过光亮的照明和倍率切换，可以得到扩大90倍的画像，可以清楚的观察到微小的部分，通过鼠标和操纵杆，可以自由自在的移动样品，利用标有准直器尺寸的十字线，来不断的确认和调整需要分析部分的位置。通过电镀部分和材质的能谙对比，确认曲线重合部分的元素的同时，正确的设定测量条件。自动完成分析报告分析测量结束后，点击输出报告的按键，便自动的启动报告编辑软件。自动的表示出测量条件，样品图像，能谱，X射线强度，分析数据等。以此为基础进行编辑，可以简单的完成数据详细、具有说服力的分析报告。自动完成分析报告如果以A来表示含有异物分的能谱、以B来表示正常部分的能谱、那么A-B表示的差就是能谱差异。中心线在边界的正方向表示出来的曲线是异物的成分，在负方向表示出来的曲线是素材的成分。利用这个能谱的差异，可以简单的同定出异物。产品规格可测元素：Na-U定性功能：KLM标示、ROL设定检测器：Si(Li)半导体检测器元素分析：自动辨别测量准直器：2个（自动设定）应用功能：用户自主设定滤波器：一次滤波器（自动设定）自动测量：三维电动控制样品观察：CCD摄像机数据处理：MS-EXCEL搭载测定软件：薄膜FP法、检量线法报告生成：MS-WORD搭载