SUSS光刻机用曝光灯
SUSSMicroTecv美国苏斯公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机,目前得到业界的广泛认同,该系列光刻机曝光系统的曝光灯,主要是由德国欧司朗Osram公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗曝光灯系列,具备良好的光通量,稳定的光强度以及优质的品质受到业界的青睐。目前供苏斯光刻机配套的相关参数如下:
HBO short-arcmercuryvarourlampsformicrolithography
LampsforS SS Equipment
Lamptype
Maxlife[h]
Equipment(适用机型)
HBO200W/DC
1000
MJB3
HBO350W/S
600
MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500
HBO1000W/D
1000
MA150,MA200,MA4,MA6,MA8
HBO5000W/S
1000
MA300
以下是欧司朗曝光灯的技术参数:
如果有需要suss苏斯光刻机用欧司朗系列曝光灯的客户,请与上海网磁公司联系,公司全线代理德国欧司朗曝光灯,原装进口,品质保证,交货及时。