单晶125*125*150（6寸）硅片项目参数要求a(mm)参数要求h(mm)单晶硅片125.0 0.5150.0 1.0125.0 0.5165.0 1.0156.0 0.5200.0 1.0单晶硅片技术特征项目参数要求参数要求参数要求直径尺寸125*125mm 0.5mm125*125mm 0.5mm156*156mm 0.5mm对角线尺寸150mm165mm200mm晶向 100 3 100 3 100 3 电阻率0.5 3.0 .com0.5 3.0 .com0.5 3.0 .com少子寿命 2.0us 2.0us 2.0us径向电阻变化 25﹪ 25﹪ 25﹪氧含量 1.0*1018at/cm3 1.0*1018at/cm3 1.0*1018at/cm3碳含量 5.0*1016at/cm3 5.0*1016at/cm3 5.0*1016at/cm3硅片弯曲度 35 m 35 m 35 m厚度200 20 m200 20 m200 20 m崩边 2mm 2mm 2mm线痕15 m15 m15 m