品牌: VOSN 型号: TY系列涡轮分子泵 TYFB-3600涡轮分子泵参数表 高真空法兰 400 ISO-K 前级管道法兰 100 ISO-K 抽气速(L/S) 3600 压缩比 N2 10 8 H2 5X10 2 极限压强(Pa)帕 2 10-6 电机转数(n／min) 12600 振动值 0.15 m 启动时间(min) 10 停机时间(min) 20 建议采用的前级泵 30-70 L／S 冷却方式 水冷 水冷冷却水温度 25℃ 水冷冷却水流量(L/min) 1 泵体烘烤温度 120℃ 安装方向 垂直 5 泵重量(kg) 100