美国产PDC 32G 2型等离子清洗器基本型等离子清洗器型号规格:PDC 32G-2整机规格:8 10 8(长 宽 高)英寸 (203 254 203)mm反应舱规格: 3 L7英寸耐热玻璃( 76 L178)mm反应舱有效容积:0.8L输入电源:220V/50HZ整机输入功率:100W射频功率档:低档680VDC、10mADC、6.8W 中档700VDC、15mADC、10.5W 高档720VDC、25mADC、18W常用工作气体:空气、氩气、氮气或混合气体等特征:紧凑的台式设备,应用一个最大功率为18瓦的RF线圈,没有RF幅射,符合CE安全标准。舱盖可拆卸。选配件:石英等离子清洗舱 提供各自计量两种不同气体进气和监测压力的气体计量混AAAAAAAA合器PlasmaFloTM需要:兼容的真空泵,最小速率为1.4m3/hr,最大极限为200MTorr包括:1/8英寸NPT针阀束引入气体和控制压力