美国产PDC 002型等离子清洗器扩展型等离子清洗器型号规格：PDC 002整机规格：9 18 11（长 宽 高）英寸（228 457 279）mm反应舱规格： 6 L6英寸耐热玻璃（ 152 L152）mm反应舱有效容积：2.8L输入电源：220V／50Hz整机输入功率：200W射频功率档：低档716VDC、10mADC、7.16W 中档720VDC、15mADC、10.15W 高档740VDC、40mADC、29.6W常用工作气体：空气、氩气、氮气或混合气体等特征：紧凑的台式设备，没有RF幅射，符合CE安全标准。反应舱盖AAAAAA具备铰链、磁力锁及可视窗口。选配件：石英等离子清洗舱 AAAA提供各自计量两种不同气体进气和监测压力的气体计量混AAAAAAAA合器PlasmaFloTM需要：兼容的真空泵，最小速率为1.4m3/hr，最大极限为200MTorr包括：1/8英寸NPT针阀束引入气体和控制压力