DH2004 微波等离子体实验装置自然界中物质的形态除了固、液、气三种形态之外,还存在第四态,即等离子体状态.等离子体的产生过程为:固体物质在受热的情况下熔化成液体,液体进一步受热后变成气体,气体进一步受热后,中性的原子和分子电离成离子和电子,形成等离子体.由于等离子体中含有大量具有高能量的活性基团,这使得等离子体能够参与或发生许多不同的化学或物理反应. 本装置由微波源、真空系统、供气系统、冷却水系统、微波传输及微波谐振腔组成;由微波源产生的频率为2.45GHz的微波,沿矩形波导管传输,经过调整短路活塞,最后在水冷谐振腔反应室内激励气体形成轴对称的等离子体球.可开设的实验:在基材（如硅片）上完成微波等离子体化学气相沉积法制备各种功能薄膜材料（如BN薄膜、金刚石薄膜、氮化碳薄膜等）、微波等离子体刻蚀加工实验、材料表面改性、微波等离子体清洗材料表面、微波等离子体化学合成等实验;适合大学物理、材料、化学等领域的学生实验及教师科学研究.培养学生掌握等离子体技术的应用. 本装置需另配光学显微镜、超声波清洗机、气源.随机配备基材、金刚石微粉. 装置已申请国家发明专利:200610050018.8;获得实用新型专利:ZL200620102055.4.主要技术特点◆无内部电极,可避免放电污染,运行气压范围宽,能量转换效率高,可产生大范围的高密度等离子体.◆设有垂直交叉的两个方向的透明观察窗,可直观观察等离子体的放电特性.◆微波等离子体刻蚀精度达到亚微米级.制备各种功能薄膜材料的速率较快.主要技术参数及性能 1、微波源:功率0～800W连续可调输出; 2、真空系统:采用旋片真空泵,单相220V交流电源,极限真空6 10-1帕,抽速2升/秒;真空计采用数显压阻式真空计和热偶真空计联合作用,用于测量本底真空和工作时的工作气压.真空密封采用金属和橡胶密封;真空调节采用隔膜阀粗调和微调阀精细调节,调节快速方便、稳定性好. 3、供气系统:有两路独立供气气路,通过转子流量计控制流量. 4、自带冷却水循环系统形成冷却水.制冷系统可保证冷却水温度在30度以下,无水源要求. 5、微波传输及微波谐振腔:配有环行器、水负载和三螺钉阻抗调配器,可保证微波源的安全工作;配有微波反射测量系统,保证等离子体最大限度地吸收微波能.反应室工作压强:几帕～十千帕;反应室极限压强:6 10-1帕;真空反应室石英管腔体尺寸: 50mm;基片温度范围:200～1000℃;电磁波功率:0～800W;接地线＜3 .