DHPS-1 直流溅射等离子实验仪装置包括可拆卸的溅射腔体、溅射靶台、真空抽气系统、测量系统、进气系统等部分组成.本实验采用同轴二极溅射结构,在真空室内以沉积材料为阴极,加工样品为阳极,工作期间两极间加直流电压引起放电,放电气体中的离子被加速轰击靶面,溅射粒子沉积在基片表面成膜. 可以完成光学薄膜材料的制备及其光学特性的测量、金属薄膜的制备等实验.通过这些实验可让实验者理解直流溅射原理,掌握直流溅射薄膜材料的工艺方法.主要技术特点◆溅射靶台和溅射靶距离可调节,研究在不同距离时对薄膜溅射的影响;◆溅射基片可进行加热,加热温度可控,研究基片温度对薄膜溅射的影响;◆溅射气压、溅射气源流量可调节,研究不同气压、气源流量对薄膜溅射的影响;◆反应腔体采用石英玻璃管,可直观地观察到溅射现象;◆工作气体可调节更换,并可多路气体混合工作.主要技术参数及性能 1、溅射腔体外形尺寸: 140mm 150mm; 2、溅射靶台: 70mm 20mm; 3、溅射靶台和溅射靶可调距离:10～50mm; 4、基片加热温度可控范围:室温～80℃; 5、溅射气压可调范围:10Pa～200Pa; 6、溅射电压:0V～1000V连续可调; 7、溅射电流:0～200mA可测; 8、气源流量可控范围:6～60ml/min;25～250ml/min; 9、供电电源:AC220V,50Hz; 10、整机功率:1.5KW.