DH2010 真空实验仪实验仪是一个真空实验平台,能够很直观反映真空获得的全过程.由真空获得部分、真空镀膜机构和电控及仪表等部分组成,结构合理,运行安全可靠,适合于对学生开展真空实验教学.本产品已获得国家实用新型专利:200720107661.X. 可开设的实验:1、真空的获得与测量;2、蒸发法薄膜制备;主要技术特点:◆设备的真空反应室、油扩散泵、真空管路部件全透明;◆电气控制有安全防护,防止误操作对操作人员和设备造成的损伤;◆管路采用不锈钢、真空橡胶管结合,阀门为电控双向截止阀,真空室内有烘烤除气设备;◆一机多用的功能,针对高校开展综合性、设计性和开放性实验的要求,预留有大空间的真空室,在配置一些组件后,就能方便开设其他扩展实验项目主要技术参数:1、 230mm 255mm硬质玻璃真空室;2、采用机械泵、四级玻璃质油扩散泵两级真空系统,扩散泵油量125～140ml,带水冷;3、真空度:开机60分钟后可达6 10-3Pa,极限真空度:9.6 10-4Pa;恢复真空时间＜40分钟 ;4、采用一对无氧铜电极蒸发电极,电极间距70mm,可选用钨丝或钼舟作蒸发源,蒸发电流调节范围:0～150A;5、衬底可加热.衬底加热温度范围:室温～200℃;6、工作电压:AC220V 5%,50Hz,整机功率3.5KW;7、工作环境要求:温度低于30℃,湿度 70%;冷却水温度22℃ 3℃,水循环用户自备.