等倾、等厚干涉的综合演示，干涉的应用 （台式）0.55m 0.35m 0.3m，分束器和补偿板平面度 1/20波长，动镜移动最小读书值0.0005mm，动镜行程10mm（粗调）、0.25mm（细调），激光器输出功率0.7～1mW。