测量范围：1.0 105～1.0 10-1（Pa）有效范围：5.0 104～5.0 10-1（Pa） 参考范围：1.0 105～5.0 104（Pa）及5.0 10-1～1.0 10-1（Pa）压强控制范围：5.0 104～5.0 10-1（Pa）压强稳定度： 3%调节阀：TJF-1压强控制方式：PID压强控制响应时间： 2S 配接规管：PSG500/DN16KF/INFICON（可配转接）测量路数：1路显示路数：1个窗口显示方式：五位LED数字显示，采用科学计数法，例：1.2E－1，表示为1.2 10-1Pa触点控制路数：2组（要拓展请电话咨询我公司）触点控制范围：1.0 105～1.0 10-1（Pa）/建议在有效范围内设置触点控制方式：点控或区域控制/带掉电记忆触点控制点负载：AC220V/3A；DC28V/10A 模拟输出：0-5V/4-20mA(用户选配)通讯接口：RS-232/RS-485(用户选配)调节阀外控：PLC控制(用户选配)工作电源：AC/85～245V/50～60Hz/15W重量：约1Kg机箱尺寸：96 96 160（E型）/（宽 高 深）/(mm)安装开口尺寸：92 92（E型）/（宽 高）/(mm)注意事项：调节阀和测量的规管尽量靠近安装，以保证良好的真空控制稳定度；气源压力最好小于2个大气压，以保证调节阀的长寿命工作。