INFICON潘宁规 产品型号：PEG100 INFICONPEG100真空潘宁规提供了可靠的高真空测量。无高真空灯丝。由于等离子点火的钛阴极板和高电压降低，潘宁规也可以应用在阴极溅射镀膜工艺上。特点：测量范围广：5X10-7～1Pa全金属冷阴极陶瓷传感器新型几何电极提供了极好的点火性能降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险，即使在氩溅射过程中也一样阳极环和钛阴极可清洗，更换容易最小磁场强度测量LED指示灯电源和等离子点火对数模拟输出信号Fieldbus总线接口（ProfibusDB,DeviceNet）,集成到真空系统的网络通信