真空镀膜用旋转掩膜装 在真空镀膜中,经常需要在部破坏真空的情况下,对镀膜室内的工件进行操作和掩盖,然而目前却没有一套标准化设备来实现。常常因为目的各有不同,也不便进行标准化生产。例如对多组基片,进行不同图案的遮掩,就需要有一整套传动装置。现有的操作经常需要打开真空室把所需要的掩膜板放入。这样的操作不仅费时、费力造成资源的浪费,因为真空镀膜耗电、水量都很大,而且多次打开真空后,对镀膜工艺会产生致命的破坏。特点: 1、在镀膜时观察不到掩膜板的转动的情况下,通过手感来控制掩膜。 2、掩膜面积很大,可以在一次真空中同时兼顾多组掩膜。 3、手感强、操作简便,不影响真空度、制造方便。