SDY-4四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准设计的半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)测试专用仪器. 仪器以大规模集成电路为核心部件,采用平面轻触式开关控制,及各种工作状态LED指示.应用微计算机技术，利用HQ-710E型测量数据处理器，使得测量读数更加直观、快速，并能实现晶片厚度自行修正，打印出全部预置和测量、计算数据。整套仪器体积小、功耗低、测量精度高、测试速度快、稳定性好、易操作。 SDY4四探针测试仪本仪器可满足半导体材料、器件的研究生产单位对材料(棒材、片材)电阻率及扩散层、离子注入层、异型外延层和导电薄膜方块电阻测量的需要。技术指标1测量范围:电阻率:0.001-200 .cm(可扩展);　　　　　　方块电阻:0.01-2000 /口(可扩展);2可测晶片直径(最大):100mm(配J-2B型手动测试台)　　　　　　　　　　 200mm(配J-51型手动测试台)3恒流源:电流量程分为0.1、1、10、100(mA)四档,各档电流连续可调.误差 0.3%4数字电压表:量程:0-199.99mV;分辨率:10 V显示:四位半红色发光管数字显示;极性、小数点、超量程自动显示。输入阻抗 1000M ;精度: 0.1%.5最大电阻测量误差(按JJG508-87进行):0.1 、1 、10 、100 小于等于0.3% 1字.6四探针探头:间距:1 0.01mm;针间绝缘电阻 1000M ;机械游移率: 0.3%探针压力:TZT-9A/9B:12-16牛顿(总力)TZT-9C/9D5-8牛顿(总力)7整机不确定度:(用硅标样片测试) 5%(0.01-180 .cm)8外形尺寸:电气主机:360mm 320mm 100mm；数据处理器：300mm 210mm 105mm9数据处理器功能:A键盘控制测量取数,自动进行电流换向,并进行正反向电流下的电阻率(或方块电阻)测量,显示出平均值.测薄片时,可自动进行厚度修正;B键盘控制数据处理,运算电阻率平均值和电阻率值最大百分变化及平均百分变化;C键盘控制打印全部测量数据.测量条件、最大电阻率值、最小电阻率值、电阻率最大百分变化及平均百分变化。10仪器重量：电气主机：约4kg；测试台：约10kg，数据处理器：约2.5kg11测试环境：温度23 2℃；相对湿度 65％；无高频干扰；无强光照射。