功能薄膜特性测试仪型号:HAD0-70601 仪器由四探针测试仪和非晶硅薄膜电导率测量仪两部分组成。具有测量精度高，灵敏度高，稳定性好，测量范围宽，结构紧凑，使用方便等特点。仪器适用于半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料的电阻性能的测试。四探针测试仪由主机，测试架等部分组成。可以测量片状，块状，块状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻），功能材料暗电导和光电导及温度的变化的特性，还可以对金属导体的低，中值电阻进行测量。测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成，故定位准确，游移率小，寿命长。非晶硅薄膜电导率测量仪由样品室，温控系统，真空系统，高阻测量系统等部分组成。1.测量范围：电阻测量范围：1 1061 1017 ；电阻率：0.001～200 cm;电导率：0.005～1000s/cm;2.可测晶片直径：200mm 200mm;3.探针：碳化钨或高速钢；探针间距：1 0.01mm;4.针间绝缘电阻： 1000M ；机械游移率： 0.3%；5.本底真空度： 10Pa,气压可控范围：10～400Pa;衬底加热温度：室温度～200℃功能薄膜特性测试仪