四探针电阻率/方阻测试仪(灵敏度：1 V) CN61M/KDY-1CN61M/KDY-1型四探针电阻率/方阻测试仪（以下简称电阻率测试仪）是用来测量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份（简称：主机）、测试架及四探针头组成。本仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表（以万分之几的精度）适时监测全程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源，使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关，在测量某些箔层材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护箔膜。仪器配置了本公司的专利产品： 小游移四探针头 ，探针游移率在0.1～0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配HQ-710E数据处理器，测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正，并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的最大百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均习庋。给测量带来很大方便。2、主机技术能数（1）测量范围：可测电阻率：0.00001～1000 cm可测方块电阻：0.0001～1000 □（2）恒流源：输出电流：DC0.001～100mA五档连续可调量程：0.001～0.01mA0.01～0.10mA0.10～1.0mA1.0～10mA10～100mA恒流精度：各档均低于 0.05%（3）直流数字电压表：测量范围：0～19.999mV灵敏度：1 V基本误差： （0.004%读数+0.01%满度）输出电源： 1000 M（4）供电电源：AC220V 10%50/60Hz功率：12W（5）使用环境：温度：23 2℃相对湿度： 65%无较强的电场干扰，无强光直接照射（6）重量、体积：主机重量：7.5kg体积：365 380 160（单位：mm长度 宽度 高度）