測量範圍（0～18）mm示值準確度（200±5）mm2上下測量面平行度誤差≦0.002mm示值準確度示值誤差±0.0025mm或±0.5%示值誤差σ0.05mm，示值變動性≦0.05mm測量接觸面積（1000±20）mm2測量接觸壓力（20±0.5）kPa兩測量面間平行度≦0.035mm測頭下降速度≦3mm／s測量頻率4次／分外型尺寸（長×寬×高）263mm×224mm×420mm